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过腐蚀
释义
过腐蚀
信息科学卷
过腐蚀
刻蚀工艺过程中,由于操作不当或者工艺技术不成熟造成的样品过度腐蚀的现象。一般通过优化工艺来避免。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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更新时间:2026/10/31 9:31:52