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线宽
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线宽
信息科学卷
线宽
集成电路生产工艺可达到的最小导线宽度。在金属-氧化物-半导体工艺中,指最小沟道长度。是集成电路工艺先进水平的主要指标。线宽越小,集成度越高,在同一面积上就集成更多电路单元。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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更新时间:2026/10/10 14:35:14