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硅烷法
释义
硅烷法
信息科学卷
硅烷法
将硅烷通入以多晶硅晶种作为流化颗粒的流化床中,使硅烷裂解并在晶种上沉积,从而得到颗粒状多晶硅的方法。主要目的是降低多晶硅的生产能耗和成本。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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更新时间:2026/10/30 16:45:01