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旋转涂胶
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旋转涂胶
信息科学卷
旋转涂胶
光刻工艺中,在硅片上涂覆光刻胶的一种方法。把硅片放在吸盘上,将一定量的光刻胶滴在硅片上,然后快速旋转硅片使光刻胶以离心力向外扩展,从而得到一层均匀的光刻胶。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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更新时间:2026/10/30 23:22:37