“套准容差”的意思、用法、组词造句及英语翻译-汉语字词典-格斯网

字词	套准容差
释义	套准容差信息科学卷套准容差　　光刻工艺中所形成的图形层和前层的最大相对位移。一般约是关键尺寸的三分之一。出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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